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半导体拉晶炉热场是影响拉晶品质的重要影响因素之一。我司从纤维结构着手，制备出具有中空结构的碳纤维，并根据反复数据测试，选择了特定直径的碳纤维。同时，还进行石墨化催化材料负载，在同等温度石墨化下，石墨化程度更高。且选用更为均匀的平铺针刺工艺，制毡密度和厚度均匀性和一致性较高。因此，由该技术工艺制成的石墨毡具有优异的隔热保温性能，同时也具有优异的抗氧化性。批次一致性高。根据数据对比，目前隔热性能达到了国际领先水平。
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名称 |
单位 |
石墨软毡 |
备 注 |
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VLG-5/VLG-10 |
VLGY-5/VLGY-10 |
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厚度 |
mm |
5/10 |
5/10 |
其它规格可按照 |
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密度 |
g/cm³ |
0.08-0.11 |
0.07-0.09 |
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宽度 |
m |
1.3-1.6 |
1.3-1.6 |
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断裂强度 |
Mpa |
≥0.3 |
≥0.2 |
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含碳量 |
% |
≥99.80 |
≥99.80 |
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热导率 |
W/m·k |
1000℃ |
≤0.17 |
≤0.23 |
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1500℃ |
≤0.35 |
≤0.38 |
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热处理温度 |
℃ |
≥1800 |
≥1800 |
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纤维脱落率 |
% |
≤0.3 |
≤0.3 |
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比表面积 |
m²/g |
3-7 |
3-7 |
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灰分 |
ppm |
≤300 |
≤300 |
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产品 |
热导率 （1000℃） （W/m·k） |
密度 （g/cm³） |
空气烧蚀率 （600℃，1h） (%) |
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纳科VLG-10软毡 |
0.17 |
0.1 |
6.21 |
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纳科VLGY-10软毡 |
0.23 |
0.08 |
9.95 |
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德国SGL软毡 |
0.25 |
0.1 |
10.12 |
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法国美尔森软毡 |
0.25 |
0.08 |
6.32 |
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美国摩根软毡 |
0.23 |
0.1 |
10.22 |
客户端实测实际数据
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